PMUT - PMUT

Piezoelektrik mikromashinali ultratovushli o'tkazgichlar (PMUT) bor MEMS asoslangan pyezoelektrik ultratovushli transduserlar. Plitaning qalinligi rejimidagi harakatidan foydalanadigan ommaviy piezoelektrik o'tkazgichlardan farqli o'laroq pyezoelektrik seramika kabi PZT yoki bitta kristall PMN-PT, PMUT kabi ingichka piezoelektrik plyonka bilan bog'langan yupqa membrananing egiluvchan harakatiga asoslanadi PVDF.[1][2][3][4][5] Katta miqdordagi piezoelektrik ultratovush transduserlari bilan taqqoslaganda, PMUT o'sish kabi afzalliklarga ega bo'lishi mumkin tarmoqli kengligi, moslashuvchan geometriya, tabiiy akustik impedans suv bilan mos keladigan, past kuchlanish talablari, har xil aralashtirish rezonans chastotalari va ayniqsa miniatyura qilingan yuqori chastotali dasturlar uchun qo'llab-quvvatlovchi elektron sxemalar bilan integratsiyalashuv salohiyati.

Adabiyotlar

  1. ^ Trolier-McKinstry, Syuzan; P. Muralt (2004 yil yanvar). "MEMS uchun ingichka piezoelektrik film". Elektrokeramika jurnali. 12 (1–2): 7. doi:10.1023 / B: JECR.0000033998.72845.51.
  2. ^ Xajati, Arman; va boshq. (2012). "Uch o'lchovli mikro elektromexanik tizim piezoelektrik ultratovush o'tkazgich". Amaliy fizika xatlari. 101 (25): 253101. doi:10.1063/1.4772469.
  3. ^ Muralt, Pol (2005 yil dekabr). "PZT yupqa plyonkalari asosida piezoelektrik mikromashinali ultratovushli transduserlar". IEEE Trans ultratovush, ferroelektriklar. 52 (12): 2276. doi:10.1109 / TUFFC.2005.1563270.
  4. ^ Tsyu, Yongtsyan; va boshq. (2015). "Piezoelektrik mikromachinali ultratovush transduser (PMUT) massivni sezish, ishga tushirish va tasvirlash uchun massivlari". Sensorlar. 15 (4): 8020–41. doi:10.3390 / s150408020. PMC  4431219. PMID  25855038.
  5. ^ Braun, Lyuis (2000 yil noyabr). "Piezoelektrik polimer ultratovush transduserini loyihalashtirish masalalari". IEEE Trans ultratovush, ferroelektriklar. 47 (6): 1377–1396. doi:10.1109/58.883527. PMID  18238684.